독성물질 누출 탐지 수십배 빨라진다

화학물질안전원은 신속 누출탐지·차단기술을 갖춘 반도체 가스공급설비를 자체개발해 시범설치한다고 6일 밝혔다.

반도체·디스플레이 업종은 독성·인화성물질을 많이 사용해 이같은 물질이 누출되면 피해 영향범위가 크기 때문에 신속히 누출을 탐지하고 차단해야 한다.

또 가스공급설비에서 발생한 누출을 제때 감지·차단하지 못하면 누출된 기체가 실내로 유입돼 인명 피해로 이어질 수 있다.

화학물질안전원은 이같은 문제를 해결하기 위해 지난해 초음파 탐지기를 활용, 빠르게 기체 누출을 감지하고 실내 유입까지 막는 원천기술 특허를 국내·외 출원했다.

화학물질안전원은 기술의 현장 적용을 위해 에스엠인스트루먼트와 지난 6월 초음파 탐지기 시제품을 개발했다.

이어 반도체 업체 SK실트론의 가스공급설비에 이같은 기술을 적용하는 시범사업에 착수할 예정이다.

기존 가스공급설비에 설치된 전기화학식 가스감지기는 수초에서 수십초까지 감지 시간이 필요했다.

반면 초음파 누출 탐지장비는 0.5초 내로 탐지가 가능한 것은 물론 가스 종류에 상관 없이 두루 사용할 수 있다고 화학물질안전원은 설명했다.

또 염화수소 취급 공급설비의 경우 피해 영향범위가 기존 517m에서 264m로 대폭 줄어들어 인명 피해를 예방할 수 있다.

박봉균 원장은 "현장 위험성 평가에서 누출 감지 지연 문제를 발견해 시제품 개발까지 성공했다"며 "현장 중심 안전기술 개발을 계속해 안전한 산업환경에 기여하겠다"고 말했다.